|
Параметры процесса ионно-ассистируемого осаждения металлооксидных полупроводниковых пленок сложного состава ряда элементов и управление свойствами пленок отчет о НИР (заключ.) БГТУ ; руководитель Н. Я. Шишкин. - ГР20012945 |
|
|
Минск 2005 |
|
| 53 с |
