Исследовать свойства интегрированных наноструктур, и разработать методы диагностики и предложения по их использованию
Исследовать свойства интегрированных наноструктур, и разработать методы диагностики и предложения по их использованию, [Текст], отчет о НИР (промежуточный), Министерство образования Республики Беларусь, Учреждение образования "Белорусский государственный технологический университет" ; рук. Н. Н. Крук ; исполн.: Н. Н. Крук, Д. В. Кленицкий, Т. Б. Карлович, Л. А. Омелькович
Минск :
2017 .-
32, [6] с. .-
ил., табл., прил.