Разработка и исследование физико-технологических методов создания микромеханических, микроэлектромеханических и микросенсорных систем на основе тонкопленочной технологии и процессов формирования и модифицирования алюмооксидных микроструктур
Разработка и исследование физико-технологических методов создания микромеханических, микроэлектромеханических и микросенсорных систем на основе тонкопленочной технологии и процессов формирования и модифицирования алюмооксидных микроструктур, [Текст], отчет о НИР (промежуточный), Министерство образования Республики Беларусь, Учреждение образования "Белорусский государственный технологический университет" ; рук. Н. Я. Шишкин ; исполн. А. А. Комаров
Минск :
2008 .-
38, [3] c .-
ил
