Фотохимические методы формирования пленок двуокиси кремния
Новик, Александр Владимирович
Фотохимические методы формирования пленок двуокиси кремния, [Текст], автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.27.01, Минский радиотехнический институт
Минск :
1990 .-
16 с. .-
ил., табл.
Служебное пользование № 39 .-