Синтез диэлектрического материала из оксида кремния для изоляции полупроводниковых приборов
Мучак, Иван Филиппович
Синтез диэлектрического материала из оксида кремния для изоляции полупроводниковых приборов, [Текст], автореф. дис. ... канд. техн. наук : 05.17.11, Белорусский государственный технологический институт им. С. М. Кирова
Минск :
1983 .-
18 с. .-
ил., табл.
Служебное пользование №№ 051, 061, 064, 088 .-