Каталог библиотеки БГТУ

1. Базы данных
2. Авторефераты диссертаций и диссертации
3. Ключевые слова
4. сухая микролитография

Авторефераты диссертаций и диссертации. Ключевые слова - сухая микролитография

• Сухая вакуумная микролитография на основе летучих силсесквиоксанов
  Корчков, Валерий Петрович
  
  Сухая вакуумная микролитография на основе летучих силсесквиоксанов, [Текст], автореф. дис. ... канд. техн. наук : 02.00.01, Академия наук СССР, Сибирское отделение, Институт неорганической химии Новосибирск : 1983 .- 21 с. .- ил., табл. Служебное пользование № 67 .-