Каталог библиотеки БГТУ

1. Базы данных
2. Авторефераты диссертаций и диссертации
3. Ключевые слова
4. субмикрометровый диапазон

Авторефераты диссертаций и диссертации. Ключевые слова - субмикрометровый диапазон

• Разработка и исследование методов контроля геометрических параметров субмикрометрового диапазона микроэлектронных структур на основе дифрактометрии
  Истомина, Наталья Леонидовна
  
  Разработка и исследование методов контроля геометрических параметров субмикрометрового диапазона микроэлектронных структур на основе дифрактометрии, [Текст], автореф. дис. ... канд. технических наук : 05.12.13, Государственный комитет Российской Федерации по высшему образованию, Московский государственный технологический университет им. К. Э. Циолковского Москва : 1995 .- 15, [4] с. .- ил.