Сухая вакуумная микролитография на основе летучих силсесквиоксанов
Корчков, Валерий Петрович
Сухая вакуумная микролитография на основе летучих силсесквиоксанов, [Текст], автореф. дис. ... канд. техн. наук : 02.00.01, Академия наук СССР, Сибирское отделение, Институт неорганической химии
Новосибирск :
1983 .-
21 с. .-
ил., табл.
Служебное пользование № 67 .-