| Автор | Достанко, А. П. |
|
Плазменные процессы в производстве изделий электронной техники Текст в 3 т. Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; под общ. ред. Достанко А. П. Т. 1 |
|
|
Минск ФУАинформ 2000 |
|
| 423 с |
