| Маркер записи | n 22 7 4500 |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/526059196 |
| Дата корректировки | 14:46:49 20 января 2021 г. |
|
985-6564-29-8 2000-00 |
|
| Код языка каталог. | rus |
| Код языка текста | rus |
| 621.38 | |
|
621.3 П37 |
|
| Автор | Достанко, А. П. |
| Титул (звания) | д-р техн. наук |
| Роль лиц | ред. |
|
Плазменные процессы в производстве изделий электронной техники Текст в 3 т. ред. Достанко А. П. Т. 2 |
|
|
Минск ФУАинформ 2001 |
|
| 244 с | |
| Обобщены результаты исследований и разработок в области теории, технологии и оборудования для изготовления изделий электронной техники с применением плазменных методов. Рассматриваются плазмохимические методы осаждения и ионно-плазменного нанесения тонких пленок. | |
|
методы осаждения плазменные процессы плазмохимические методы электронная техника |
|
| Организация/ юрисдикция | Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники |
| Тип документа | m |
