| Индекс УДК | 621.317 |
|
Электронные измерения в нанотехнологиях и микроэлектронике Текст под ред. проф. В. П. Дьяконова |
|
| Место издания | Москва |
| Издательство | ДМК Пресс |
| Дата издания оригинала | 2011 |
| Объем | 687, [1] с. |
| Аннотация | В книге подробно описаны средства измерений, применяемые в условиях крупносерийного микроэлектронного производства, и приборы ведущих в их разработке и производстве фирм. Особое внимание уделено анализу и генерации тестовых сигналов, измерению их параметров в области малых и сверхмалых времен, измерению сверхмалых токов и напряжений, анализу импеданса и иммитанса цепей, измерениям статических и динамических характеристик полупроводниковых приборов и интегральных микросхем и др. |
| Ключевые слова | электронные измерения |
| Другие авторы | Дьяконов, В. П. |
