| Индекс УДК | 621.382 |
|
Некоторые вопросы обработки полупроводниковых материалов Электронный ресурс |
|
| Место издания | Минск |
| Издательство | БГТУ |
| Дата издания оригинала | 2023 |
| Ключевые слова | обработка полупроводниковых материалов |
|
Технологическая независимость и конкурентоспособность Союзного государства, стран СНГ, ЕАЭС и ШОС Минск : БГТУ, 2023 Т. 2. - С. 191-195 RU/IS/BASE/755604399 978-985-897-155-7 (т. 2) |
