| Индекс УДК | 621.793:621.382.049.77 |
| Автор | Емельянов, Виктор Андреевич |
|
Нанокомпозиционные покрытия и технологии в микроэлектронике Текст [монография] Национальная академия наук Беларуси, Объединенный институт машиностроения |
|
| Место издания | Минск |
| Издательство | Беларуская навука |
| Дата издания оригинала | 2014 |
| Объем | 410, [1] с. |
| Примечание | Авт. указаны на обороте тит. л. |
| Аннотация | В монографии обобщены результаты исследований закономерностей осаждения тонких нанокомпозиционных покрытий различной природы, наносимых на кристаллы, рабочие поверхности технологической оснастки, используемой при производстве изделий микроэлектроники, и их физико-химические свойства. Содержится информация о технологии изготовления базовых элементов корпусов и выводных рамок БИС, приведены оптимальные технические решения микромонтажа кристаллов, конструктивные особенности ис пользуемого при этом технологического оборудования. |
| Ключевые слова | нанокомпозиционные покрытия |
| Другие авторы | Рогачев, Александр Владимирович |
