| Индекс УДК | 621.382 |
|
Резистивные пленки Si - La - Cr - Co, полученные из многокомпонентной литой мишени методом ионно-лучевого распыления Текст |
|
| Место издания | Минск |
| Издательство | ФТИ НАН Беларуси |
| Дата издания оригинала | 2020 |
|
Современные методы и технологии создания и обработки материалов Минск : ФТИ НАН Беларуси, 2020 Кн. 2. - С. 144-150 RU/IS/BASE/678216794 978-985-6441-62-5 (кн. 2) |
