| Маркер записи | n |
| Контрольный номер | RU/IS/BASE/634657564 |
| Дата корректировки | 13:46:04 10 февраля 2020 г. |
| Служба первич. каталог. | Яновская |
| Код языка каталог. | rus |
| Правила каталог. | PSBO |
| Код языка издания | rus |
| Индекс УДК | 535 |
| Автор | Ивашкевич, И. В. |
| Полное имя | И. В. Ивашкевич |
|
Диагностика ориентации оптической оси одноосной подложки на спектральном эллипсометре ES-2 Текст |
|
| Место издания | Могилев |
| Издательство | МГУ им. А. А. Кулешова |
| Дата издания оригинала | 2007 |
| Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил. |
| Ключевые слова | спектральная эллипсометрия |
|
спектральные эллипсометры диэлектрические подложки кремниевые слои ориентация оптической оси |
|
| Другие авторы | Сотская, Л. И. |
|
Сотский, А. Б. Стаськов, Н. И. Крекотень, Н. А. |
|
|
Оптика неоднородных структур - 2007 Могилев : МГУ им. А. А. Кулешова, 2007 С. 87-89 RU/IS/BASE/627559569 978-985-480-428-6 |
|
| Тип документа | b |
