| Индекс УДК | 621.793 |
| Автор | Сумец, М. П. |
|
Структура и электрические свойства пленок состава LiNbO[3] на кремнии Текст |
|
| Место издания | Санкт-Петербург |
| Издательство | ЛЕМА |
| Дата издания оригинала | 2014 |
| Ключевые слова |
рентгеновская дифрактометрия резерфордовское обратное рассеяние электрические свойства пленки высокочастотное магнетронное распыление |
| Другие авторы | Костюченко, А. В. |
