Индекс УДК | 621.382.049.77.002 |
Обработка и защита поверхности полупроводниковых приборов Текст |
|
Основные сведения об издании | Изд. 3-е, перераб. |
Место издания | Москва |
Издательство | Энергия |
Дата издания оригинала | 1970 |
Объем | 294, [2] с. |