| Индекс УДК | 621.315.592 |
|
Примесно-дефектный размерный эффект, энергетическая и химическая активность атомов инертных газов в полупроводниках Текст препринт № 24 Академия наук БССР, Институт тепло- и массообмена им. А. В. Лыкова, Институт физики твердого тела и полупроводников |
|
| Место издания | Минск |
| Издательство | Институт тепло- и массообмена им. А. В. Лыкова |
| Дата издания оригинала | 1984 |
| Объем | 43, [1] c. |
| Аннотация | Рассматривается примесно-дефектный размерный эффект, энергетическая и химическая активность атомов инертных газов в полупроводниках. |
| Ключевые слова | примесно-дефектный размерный эффект |
