| Индекс УДК | 621.382 |
| Заглавие | Полупроводниковая техника и микроэлектроника |
| Физич. носитель | Текст |
| Продолж. заглавия | республиканский межведомственный сборник |
| Ответственность | Академия наук УССР ; [редкол.: С. В. Свечников (отв. ред.) и др.] |
| Номер части/ раздела | Вып. 13 |
| Место издания | Киев |
| Издательство | Наукова думка |
| Дата издания оригинала | 1973 |
| Объем | 100, [4] c. |
| Аннотация | Представлены работы по элементам радиоэлектронных устройств и микроэлектроники на полупроводниках и диэлектриках. Описываются разработки полупроводниковых приборов, нелинейных сопротивлений и многослойных структур, приводятся данные о свойствах пленочных систем. |
| Ключевые слова | полупроводниковая техника |
