| Индекс УДК | 621.382.049.77(035.5) |
|
Технология микроэлектронных устройств Текст справочник |
|
| Место издания | Москва |
| Издательство | Радио и связь |
| Дата издания оригинала | 1991 |
| Объем | 526 с. |
| Аннотация | Рассмотрены механические, химические, ионные, плазменные, электронно-лучевые и другие методы обработки в технологии микроэлектронных устройств. |
