Индекс УДК | 541 |
Автор | Veprek, S. |
Plasma Chemistry Text [a collection of review articles] [editors: S. Veprek, M. Venugopalan ; autorenkollektiv: E. Kay et al.] |
|
Место издания | Berlin |
Издательство | Akademie-Verlag |
Дата издания оригинала | 1981 |
Объем | 125 p. |
Аннотация | This chapter deals with the physical and chemical processes which take place in fluorocarbon plasmas. |
Другие авторы | Venugopalan, M. |