Электрические свойства наноразмерных слоёв золота, полученных методом ионно-лучевого распыления - осаждения
Галенко, Е. Н., Шарко, С. А.
Электрические свойства наноразмерных слоёв золота, полученных методом ионно-лучевого распыления - осаждения, [Электронный ресурс]
Минск :
БГТУ ,
2021 .-
ил.
RU/IS/BASE/696343831, Инновационные материалы и технологии - 2021, Минск : БГТУ, 2021, С. 402-405