Технология тонких пленок
Глэнг, Рейнхард, Maissel, Leon I., Glang, Reinhard, Ричард, Э., Веннер Готтфрид, К. , Майссел, Леон, Браун, Ричард
Технология тонких пленок, [Текст], справочник : [в 2 т.], под ред. Л. Майссела, Г. Глэнга ; пер с англ. под ред. М. И. Елинсона, Г. Г. Смолко, Т. 1
Москва :
Советское радио ,
1977 .-
662 с. .-
ил., табл.
Парал. тит. л.: англ. .-