Моделирование процесса термопередачи при прошивке кремниевой подложки лазерным излучением
Ланин, В. Л., Фам, В. Т. , Петухов, И. Б.
Моделирование процесса термопередачи при прошивке кремниевой подложки лазерным излучением , [Текст]
Минск :
БНТУ ,
2020 .-
ил., табл.
Приборостроение - 2020, Минск : БНТУ, 2020, С. 387-388, RU/IS/BASE/672143416, 978-985-583-587-6
