Моделирование нагрева кремниевых пластин при быстрой термической обработке на установке "УБТО 1801"
Соловьёв, Я. А., Пилипенко, В. А. , Яковлев, В. П., Хлопков, Н. С. , Гринцевич, Е. В., Сарычев, О. Э.
Моделирование нагрева кремниевых пластин при быстрой термической обработке на установке "УБТО 1801" , [Текст]
Минск :
БНТУ ,
2020 .-
Приборостроение - 2020, Минск : БНТУ, 2020, С. 313-315, RU/IS/BASE/672143416, 978-985-583-587-6
