Структура и удельная поверхностная энергия алмазоподобных пленок
Лапицкая, В. А., Кузнецова, Т. А., Хабарова, А. В., Трухан, Р. Э., Чижик, С. А., Торская, Е. В.
Структура и удельная поверхностная энергия алмазоподобных пленок, [Текст]
Минск :
БНТУ ,
2020 .-
Приборостроение - 2020, Минск : БНТУ, 2020, С. 225-226, RU/IS/BASE/672143416, 978-985-583-587-6
