Автоматическая цифровая многоканальная система поддержания давления в вакуумной камере
Фоминых, А. М.
Автоматическая цифровая многоканальная система поддержания давления в вакуумной камере, [Текст]
Москва :
[РОСНАНО] ,
2008 .-
ил
Rusnanotech'08, Москва : [РОСНАНО], 2008, С.31-32, RU/IS/BASE/605185555
