Технология полупроводников
Богомазова, Наталья Валентиновна, Жарский, Иван Михайлович
Технология полупроводников, методические указания к выполнению курсовой работы по одноименному курсу для студентов специальности 1-48 01 01 "Химическая технология неорганических веществ, материалов и изделий" специализации 1-48 01 01 13 "Химическая технология материалов квантовой и твердотельной электроники", Белорусский государственный технологический университет ; [сост.: Н. В. Богомазова, И. М. Жарский], Текст
Минск, БГТУ, 2007
47 с., ил
