Геометрические параметры газораспределителя и магнитного поля в реакторе плазмохимического осаждения алмазоподобных углеродных покрытий
Леонович, Н. В., Котов, Д. А., Занько, А. И.
Геометрические параметры газораспределителя и магнитного поля в реакторе плазмохимического осаждения алмазоподобных углеродных покрытий, [Электронный ресурс]
Минск :
Беларуская навука ,
2023 .-
ил.
RU/IS/BASE/749733209, Молодежь в науке - 2023, Минск : Беларуская навука, 2023, С. 608-611
