Физические методы нанесения нанопокрытий
Будилов, Владимир Васильевич, Мухин, Виктор Сергеевич, Шехтман, Семен Романович
Физические методы нанесения нанопокрытий, [Текст], учебное пособие для вузов : учебное пособие для студентов высших учебных заведений, обучающихся по инженерно-техническим направлениям
Москва :
Юрайт ,
2020 .-
195, [1] с. .-
ил., табл.