Физические основы микроэлектроники
Ложкин, Борис Тимофеевич, Самохин, Виктор Яковлевич, Петрова, Валентина Владимировна
Физические основы микроэлектроники, [Текст], методические указания к выполнению РГР для специальности 28.09 (ФТ) - "Технология полиграфического производства", Министерство высшего и среднего специального обраования РСФСР, Московский полиграфический институт ; сост.: Б. Т. Ложкин, В. Я. Самохин, В. В. Петрова ; отв. за вып. д-р техн. наук, проф. А. С. Сидоров
Москва :
МПИ ,
1988 .-
9 с. .-
табл.