Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники
Моряков, Олег Сергеевич
Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники, [Текст], учебное пособие для профессионально-технических училищ : в 10 кн., авт. О. С. Моряков, Кн. 9, Сборка
Москва :
Высшая школа ,
1990 .-
121, [5] с. .-
ил., табл.