Применение методов сканирующей зондовой электрометрии в технологическом контроле производства изделий микроэлектроники
Жарин, А. Л., Петлицкий, А. Н., Пилипенко, В. А. , Тявловский, А.К. , Тявловский, К. Л., Гусев, О. К., Воробей, Р. И. , Пантелеев, К. В.
Применение методов сканирующей зондовой электрометрии в технологическом контроле производства изделий микроэлектроники, [Текст]
Минск :
БНТУ ,
2020 .-
Приборостроение - 2020, Минск : БНТУ, 2020, С. 78-80, RU/IS/BASE/672143416, 978-985-583-587-6
