Разработка методов образования высокопористых оксидных слоев алюминия для последующего формирования мультиоксидных хеморезистивных слоев для микро- и наноэлектроники
Романовская, А. В., Филипович, Т. Н., Жилинский, Валерий Викторович, Черник, А. А.
Разработка методов образования высокопористых оксидных слоев алюминия для последующего формирования мультиоксидных хеморезистивных слоев для микро- и наноэлектроники, [Текст]
Минск :
БГТУ ,
2019 .-
ил., табл.
Инновационные материалы и технологии - 2019, Минск : БГТУ, 2019, С. 77-80, Войтов, Игорь Витальевич, RU/IS/BASE/659633138
