Разработка метода получения нанокристаллов кремния в аморфных SiO[2] и SiO[x]N[y] электронным зондом высокой удельной мощности для элементов FLASH-памяти
Колесникова, Е. В., Заморянская, М. В., Ситникова, А. А., Соколов, В. И.
Разработка метода получения нанокристаллов кремния в аморфных SiO[2] и SiO[x]N[y] электронным зондом высокой удельной мощности для элементов FLASH-памяти
Москва :
[РОСНАНО] ,
2008 .-
ил
Rusnanotech'08, Москва : [РОСНАНО], 2008, С.193-194, RU/IS/BASE/605185555
