Прогрессивные методы изготовления катодов для вакуумного нанесения покрытий
Карпенко, Геннадий Дмитриевич, Емельянов, Сергей Ефимович, Ушеренко, Сергей Миронович, Спесивцев, А. А., Чадеев, А. Э.
Прогрессивные методы изготовления катодов для вакуумного нанесения покрытий, обзорная информация, Белорусский научно-исследовательский институт научно-технической информации и технико-экономических исследований Госплана БССР , [Текст]
Минск :
БелНИИНТИ ,
1989 .-
32 с. .-
ил., табл.
