Основы эллипсометрии
Ржанов, Анатолий Васильевич, Свиташев, Константин Константинович, Семененко, Альберт Иванович, Соколов, Вадим Карлович
Основы эллипсометрии, [Текст], [монография], Академия наук СССР, Сибирское отделение, Институт физики полупроводников ; отв. ред. чл.-кор. АН СССР А. В. Ржанов
Новосибирск :
Наука, Сибирское отделение ,
1979 .-
418, [4] с. .-
ил., табл.
Авт. указаны на обороте тит. л. .-