Компьютерное моделирование взаимодействия низкоэнергетических ионов с поверхностью кремния
Корнеева, И. А., Обидина, О. В.
Компьютерное моделирование взаимодействия низкоэнергетических ионов с поверхностью кремния, науч. рук.: И. В. Терешко, А. В. Хомченко, [Текст]
Могилев :
Белорусско-Российский университет ,
2011 .-
Новые материалы, оборудование и технологии в промышленности, Могилев : Белорусско-Российский университет, 2011, С. 82, RU/IS/BASE/605183297, 978-985-492-099-3