Микроэлектроника
Агаханян, Т. М., Васильев, А. С., Галицкий, В. В., Петров, Г. В., Лебедев, В. И., Гусев, А. В., Гордеев, Б. К., Кармазинский, А. Н., Королев, М. А. , Алексеев, В. И.
Микроэлектроника, [Текст], сборник статей, Министерство высшего и среднего специального образования СССР, Московский инженерно-физический институт ; под ред. Т. М. Агаханяна, Вып. I
Москва :
Атомиздат ,
1971 .-
170, [3] с. .-
ил., табл.
