Создание управляющих микроприборов физико-химическими методами (прецизионные физико-химические процессы в производстве микроэлектронной аппаратуры)
Ормонт, Борис Филиппович, Смирнов, Вениамин Иванович
Создание управляющих микроприборов физико-химическими методами (прецизионные физико-химические процессы в производстве микроэлектронной аппаратуры), [Текст], [брошюра]
Москва :
Знание ,
1977 .-
63 с. .-
ил.
