Микроэлектроника
Митрофанов, Олег Викторович, Симонов, Борис Михайлович, Коледов, Леонид Александрович
Микроэлектроника, [Текст], учебное пособие для студентов втузов, под ред. проф. Л. А. Коледова ; авт.: О. В. Митрофанов, Б. М. Симонов, Л. А. Коледов, Кн. 1, Физические основы функционирования изделий микроэлектроники
Москва :
Высшая школа ,
1987 .-
166, [2] с. .-
ил.