Нанесение пленок стабилизированного иттрием диоксида циркония методом ВЧ магнетронного распыления
Голосов, Д. А., Завадский, С. М., Евстафьева, М. В., Ли Динь Ви
Нанесение пленок стабилизированного иттрием диоксида циркония методом ВЧ магнетронного распыления, [Текст]
Минск :
ФТИ НАН Беларуси ,
2012 .-
ил.
Современные методы и технологии создания и обработки материалов, Минск : ФТИ НАН Беларуси, 2012, Кн. 1. - С. 55-62, RU/IS/BASE/605183427, 978-985-6441-29-8 (кн. 1)