Влияние воздействия термического отжига на дефектообразование в арсениде галлия при имплантации ионов фосфора
Бобрович, Олег Георгиевич
Влияние воздействия термического отжига на дефектообразование в арсениде галлия при имплантации ионов фосфора, [Электронный ресурс]
Минск :
БГТУ ,
Физико-математические науки, Минск : БГТУ, 2019, С. 13, RU/IS/BASE/605609048