Поиск

Формирование рельефных структур на поверхности монокристаллов синтетического алмаза методом реактивного ионного травления

Авторы: Бормашов, В. С. Голованов, А. В. Волков, А. П. Тарелкин, С. А. Буга, С. Г. Бланк, В. Д.
Краткая информация
Маркер записи n
Контрольный номер RU/IS/BASE/432730237
Дата корректировки 21:22:10 13 октября 2015 г.
Код языка каталог. rus
Правила каталог. PSBO
Код языка издания rus
Индекс УДК 544.558;533.924
Бормашов, В. С.
Формирование рельефных структур на поверхности монокристаллов синтетического алмаза методом реактивного ионного травления
Текст
Библиография Библиогр.: 12 назв.
реактивное ионное травление
синтетические алмазы
лазерная литография
Другие авторы Голованов, А. В.
Волков, А. П.
Тарелкин, С. А.
Буга, С. Г.
Бланк, В. Д.
Химия и химическая технология. Изв. вузов
2013
Т. 56, № 7. - С. 57-59
Тип документа b