Сайт библиотеки БГТУ Сайт БГТУ Электронная библиотека БГТУ
  1. Базы данных
  2. Статьи
  3. Принципы построения и структурные схемы зондовых автоматических систем контроля параметров изделий микро- и наноэлектроники пластин
Поиск

Принципы построения и структурные схемы зондовых автоматических систем контроля параметров изделий микро- и наноэлектроники пластин

Авторы: Ковальчук, Г. Ф. Минченко, В. А. Школык, С. Б.
Подробная информация
Индекс УДК 621.382.088
Принципы построения и структурные схемы зондовых автоматических систем контроля параметров изделий микро- и наноэлектроники пластин
Текст
Приборы и методы измерений
2012
№2. - С. 67-75