Маркер записи | n |
Контрольный номер | RU/IS/BASE/394195139 |
Дата корректировки | 20:50:57 13 октября 2015 г. |
Код языка каталог. | rus |
Правила каталог. | PSBO |
Код языка издания | rus |
Индекс УДК | 541.64-412 |
Харченко, А. А. | |
Формирование низкоразмерных структур на полимерной пленке фокусированным ионным пучком Текст |
|
Иллюстрации/ тип воспроизводства | ил. |
Библиография | Библиогр.: 7 назв. |
атомно-силовая микроскопия ионная имплантация полимерные пленки полупроводниковые материалы |
|
Другие авторы | Шварков, С. Д. |
Колесник, Е. А. Лукашевич, М. Г. |
|
Вестник БГУ. Сер. 1, Физика. Математика. Информатика 2012 № 2. - С. 29-31 |
|
Тип документа | b |