Поиск

Формирование низкоразмерных структур на полимерной пленке фокусированным ионным пучком

Авторы: Харченко, А. А. Шварков, С. Д. Колесник, Е. А. Лукашевич, М. Г.
Краткая информация
Маркер записи n
Контрольный номер RU/IS/BASE/394195139
Дата корректировки 20:50:57 13 октября 2015 г.
Код языка каталог. rus
Правила каталог. PSBO
Код языка издания rus
Индекс УДК 541.64-412
Харченко, А. А.
Формирование низкоразмерных структур на полимерной пленке фокусированным ионным пучком
Текст
Иллюстрации/ тип воспроизводства ил.
Библиография Библиогр.: 7 назв.
атомно-силовая микроскопия
ионная имплантация
полимерные пленки
полупроводниковые материалы
Другие авторы Шварков, С. Д.
Колесник, Е. А.
Лукашевич, М. Г.
Вестник БГУ. Сер. 1, Физика. Математика. Информатика
2012
№ 2. - С. 29-31
Тип документа b