Поиск

Влияние гетерогенных процессов на параметры кислородсодержащей плазмы

Авторы: Смирнов, С. А. Титов, В. А. Рыбкин, В. В.
Краткая информация
Маркер записи n
Контрольный номер RU/IS/BASE/221499997
Дата корректировки 20:50:48 13 октября 2015 г.
Код языка каталог. rus
Правила каталог. PSBO
Код языка издания rus
Индекс УДК 621.382:537.525
Смирнов, С. А.
Влияние гетерогенных процессов на параметры кислородсодержащей плазмы
Текст
Иллюстрации/ тип воспроизводства ил.
Библиография Библиогр.: 47 назв.
плазмохимическое травление
гетерогенные реакции
плазма воздуха
Титов, В. А.
Рыбкин, В. В.
Химия и химическая технология. Изв. вузов
2012
Т. 55, № 4. - С. 12-20
Тип документа b