Сайт библиотеки БГТУ Сайт БГТУ Электронная библиотека БГТУ
  1. Базы данных
  2. Статьи
  3. Суперфинишная полировка алмазных подложек для эпитаксиальной технологии
Поиск

Суперфинишная полировка алмазных подложек для эпитаксиальной технологии

Авторы: Шаронов, Г. В. Петров, С. А.
Подробная информация
Индекс УДК 621.3.084.866
Суперфинишная полировка алмазных подложек для эпитаксиальной технологии
Текст
Инженерно-физический журнал
2011
Т. 84, № 5. - С. 1100-1103