| Индекс УДК | 544 |
|
Plasma parameters and fluorine atom density in SF[6] + Ar + He gas mixture: effects of Ar/He mixing ratio, pressure and input power A. V. Miakonkikh, V. O. Kuzmenko, A. M. Efremov, K. V. Rudenko |
|
| Аннотация | Исследовано влияние начального состава смеси, давления газа и вкладываемой мощности на электрофизические параметры и концентрацию атомов фтора в плазме SF[6] + Ar + He. Установлено, что замена аргона на гелий при постоянном содержании SF[6] влияет на температуру электронов, концентрацию заряженных частиц и электроотрицательность плазмы. Максимальный эффект на концентрацию атомов фтора оказывает варьирование вкладываемой мощности (в 9 раз при W = 800-1250 Вт), влияние соотношения Ar/He и давления газа выражены слабо. |
| Название источника | Известия вузов. Химия и химическая технология |
| Место и дата издания | 2025 |
| Прочая информация | Т. 68, вып. 3. - С. 42-49 |
