| Индекс УДК | 535.33 |
|
Влияние температуры окислительного отжига на структурные и оптические характеристики пленок оксидов олова В. К. Ксеневич, В. А. Доросинец, М. А. Самарина [и др.] |
|
| Аннотация | Исследованы кристаллическая структура и оптические характеристики неупорядоченных пленок оксидов олова, синтезированных методом магнетронного распыления мишени олова на стеклянные подложки с последующим двухстадийным отжигом на воздухе. Анализ микроструктуры пленок оксидов олова проведен методом рентгеновской дифракции и спектроскопии комбинационного рассеяния света. Измерены спектры пропускания образцов в диапазоне длин волн лябда = 200-3000 нм. С помощью конвертного метода определены оптические константы (показатель преломления n (лябда), коэффициент поглощения альфа (лябда) ) тонких пленок оксидов олова в зависимости от длины волны. Показана возможность получения пленок оксидов олова с управляемо варьируемыми оптическими пара метрами (коэффициент поглощения альфа до 82 % в видимом диапазоне электромагнитного спектра, показатель преломления n = 2-2. 6, оптическая щель Тауца в диапазоне 2. 62-3. 46 эВ) посредством изменения температуры на второй стадии окислительного отжига в диапазоне 325-475 °С. |
| Название источника | Журнал прикладной спектроскопии |
| Место и дата издания | 2024 |
| Прочая информация | Т. 91, № 6. - С. 813-820 |
